제품설명
3M™ Light-to-Heat Conversion (LTHC) Coating 잉크는 스핀 코팅 방법이 적용된 용매 기반의 코팅 제품입니다. 이 코팅은 3M™ 웨이퍼 서포트 시스템의 유리 기판에서 “ Light to Heat” 변환 층을 형성하게 됩니다.
- 레이저 조사로 유리 캐리어 인터페이스에 부착된 접착제를 실온에서 스트레스 없이 디본딩 가능
- UV 경화형 액상 접착제로 웨이퍼 표면에 밀착성이 뛰어나며, 박막으로 연마 가능.
- 보이드 없이 TTV 5 um 이하의 고정밀 웨이퍼 마운트 가능, 고온 내열성(250도) 및 내화학성이 필요한 공정에 사용 가능.
- 일반적인 반도체 화학 제품 및 프로세스와 호환 가능
상세정보
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Net Weight (Metric)
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18 킬로그램
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Polymer Type
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Thermoplastic Resin
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브랜드
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3M™
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