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고온 과불화탄성체(FFKM)
건식면(열 공정) 반도체 적용 분야에 적합
추출 가능한 물질이 적고 금속 이온 함량이 매우 낮음
기술적으로 진보된 고온 과불화탄성체이며 고온의 플라즈마 적용 분야의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 건식면 반도체 적용 분야에 이상적이며 ASTM D1418에 따라 FFKM으로 분류됩니다.