3M™ 플렉서블 패드 컨디셔너

3M ID B5005541000

긴 수명과 낮은 결함률을 구현하는 CMP 패드 컨디셔닝 및 클리닝

패드의 경도와 구조에 맞춰 커스터마이징할 수 있는 조정 가능한 브리슬, 설계 및 소재

패드 전체 수명 동안 안정적인 remove rate과 일관된 성능

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미래를 위한 최적화

3M™ 플렉서블 패드 컨디셔너의 브리슬은 패드의 경도와 구조에 맞춰 조정할 수 있으며, 일반적인 패드와 공정과의 호환성을 위해 테스트된 다양한 옵션을 제공합니다.

상세정보

주요 특징

긴 수명과 낮은 결함률을 구현하는 CMP 패드 컨디셔닝 및 클리닝
패드의 경도와 구조에 맞춰 커스터마이징할 수 있는 조정 가능한 브리슬, 설계 및 소재
패드 전체 수명 동안 안정적인 remove rate과 일관된 성능
디스크 간 형태의 높은 일관성을 제공하고 브리슬 손실을 거의 없애는 유니바디 구조
비금속 절단 표면으로 금속 오염 위험을 줄이는데 도움
효율적인 CMP 패드 클리닝 및 슬러리 분배
다이아몬드 패드 컨디셔너 대비 평균 잔여물 크기가 5-10배 더 작아 결함 성능 개선에 기여
포로메릭 및 저탄성 CMP 패드뿐만 아니라 일반적으로 사용중인 CMP패드에도 매우 효과적
3M™ CMP 패드 및 3M™ CMP 패드 컨디셔너 코팅과 호환 가능

3M™ 플렉서블 패드 컨디셔너는 CMP 패드의 컨디셔닝 및 텍스처링에서 발생하는 복잡한 요구사항을 해결하는 혁신적인 솔루션입니다. 이 솔루션을 통해 3M은 다이아몬드 패드 컨디셔너의 빠른 패드 브레이크인 시간과 강력한 컨디셔닝 성능을 브러시의 효과적인 결함 억제 성능과 결합했습니다. 내구성이 뛰어난 유니바디 폴리머로 제작된 3M™ 플렉서블 패드 컨디셔너는 기존 다이아몬드 패드 컨디셔닝의 한계를 넘어, 조정 가능한 설계, 긴 수명, 결함 감소 가능성을 갖춘 새로운 수준의 맞춤화와 성능을 구현합니다.

간편한 패드 클리닝

3M™ 플렉서블 패드 컨디셔너는 강력한 패드 컨디셔닝 기능과 더불어 패드 클리닝 작업에서도 매우 효과적입니다. 제어된 브리슬과 균일한 간격 덕분에 기존 브러시에 비해 슬러리와 잔여물이 갇히는 현상을 최소화 하며, 세리아(Ceria), 양이온 실리카 등 청소가 어려운 슬러리에도 적용 가능합니다. 또한 브리슬 소재는 기존 제품보다 물로 세척하기 쉬우며, 견고한 유니바디 폴리머 구조는 브리슬 손실을 사실상 0으로 줄여줍니다.

제어되고 균일한 작업 브리슬 팁 수

고해상도 이미지 분석 결과, 거의 모든 브리슬 팁(빨강색 표시)이 패드 표면과 접촉하여 디스크 수명 동안 매우 일관된 컨디셔닝 성능을 구현합니다. 또한 엄격하게 관리되는 제조 공정은 디스크 간 작업 브리슬 팁의 변동성을 최소화합니다.