1. 한국
  2. 3M 전체 제품
  3. 필터 솔루션
  4. 필터 카트리지
  5. 원통형 심층 여과 필터
  6. 3M™ Betapure™ AUL Series Filter Cartridge, AUL10Z15UCSF6, 10 in, SOE, EPR, 30 Each/Case

3M™ Betapure™ AUL Series Filter Cartridge, AUL10Z15UCSF6, 10 in, SOE, EPR, 30 Each/Case

  • 3M ID 7100180218
  • UPC 00051125991704

CMP 슬러리 여과를 위해 설계된 필터

선택적 다층 여과를 위한 Bi-component 섬유 기술은 LPC(Large Particle Count) 여과를 가능케 합니다

견고한 필터 구조는 간헐적 운전 공정 조건에서도 기공 크기를 유지하여 일관된 필터을 제공합니다.

모든 세부사항 확인

상세정보

주요 특징
  • CMP 슬러리 여과를 위해 설계된 필터
  • 선택적 다층 여과를 위한 Bi-component 섬유 기술은 LPC(Large Particle Count) 여과를 가능케 합니다
  • 견고한 필터 구조는 간헐적 운전 공정 조건에서도 기공 크기를 유지하여 일관된 필터을 제공합니다
  • 수율 개선을 위해 Large 파티클의 수를 크게 줄입니다

3M™ Betapure™ AUL 시리즈 필터 카트리지는 개선된 수율을 위해 파티클 수의 탁월한 여과를 제공하는 차세대 CMP(Chemical Mechanical Planarization) 슬러리 여과 필터로, 수율 개선을 위해 Large 파티클의 수를 크게 줄입니다. 가장 진보된 CMP 공정에서 LPC(Large Particle Count) 여과 및 수율 향상을 가능하게 하는 멀티 레이어 여과층이 있는 Bi-component 섬유 기술을 특징으로 합니다.

제품설명