반도체 유체 취급 장비용 고순도 플루오르 열가소성 플라스틱
5G 기기를 비롯한 차세대 기술을 지원하기 위해 업계에서 칩 설계가 더욱 복잡해지면서 공정 순도를 유지해야 하는 필요성 또한 그 어느 때보다 중요해졌습니다.
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3M™ Dyneon™ Fluorothermoplastics를 선택하면 필요한 특성이 적절히 결합된 재료를 얻을 수 있으므로 최종 제품의 품질에 영향을 미칠 수 있는 결함이 발생하지 않도록 오염을 방지하는 데 도움이 됩니다. 또한 재료의 성능을 신뢰할 수 있기 때문에 수율을 높여 반도체 제조 장비를 최대한 활용함으로써 비용이 많이 드는 가동 중지 시간과 낭비를 줄일 수 있습니다.
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3M 재료 과학이 뒷받침하는 신뢰할 수 있는 재료 특성
3M™ Dyneon™ Fluorothermoplastics는 시설 전체에서 안정적이고 일관된 성능을 발휘하도록 온도 및 내화학성을 비롯한 신뢰할 수 있는 특성을 제공합니다. 3M의 소재는 오랜 기간에 걸친 플루오르 폴리머 설계 및 제조 경험을 바탕으로 만들어졌으며, 오랜 기간 이어진 반도체 산업에 대한 헌신의 결과입니다. 3M에서는 반도체 산업에 전념하고 있으며 산업 위원회에 활발히 참여하면서 끊임없이 진화하는 설계상의 과제에 대한 최신 정보를 습득하고 있습니다.
케미컬 이동 시스템
생산 공정에는 세척과 에칭을 위한 독한 화학 물질, 높은 온도, 초순수 처리 등 유체 취급과 관련한 당면 과제가 있습니다. 3M의 플루오르 열가소성 플라스틱은 순도와 무결성을 유지하면서 가장 열악한 조건을 견디도록 설계되었습니다.
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기본형 및 프로필
3M™ Dyneon™ PFA는 다음과 같은 부품을 제조하기 위해 압출 또는 사출 성형할 수 있습니다.
- 튜브
- 펌프
- 밸브
- 시트
- 필름
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반제품
3M™ Dyneon™ PTFE는 다음과 같은 압축 성형 부품 제조에 가장 적합합니다.
- 에칭 용기
- 웨이퍼 캐리어
- 세척 용기
- 다이어프램 펌프
- 개스킷
- 파이프 라이닝 및 피팅
- 필터
3M™ Dyneon™ Fluorothermoplastics
3M™ Dyneon™ Fluorothermoplastic 재료는 웨이퍼 캐리어, 에칭 용기, 유체 취급 시스템 등 시설 전반의 다양한 용도에 적합합니다.
- 튜빙을 위한 최고 순도
- 뛰어난 내열성
- 우수한 내화학성
- 매우 부드러운 표면
- UHP PFA의 이점을 비롯한 추가 이점
- 표면이 매우 부드러워 유동성을 높임
- 응력 균열에 대한 내성이 높음
- 범용 내화학성
- 넓은 서비스 온도 범위
- 낮은 마찰 계수
- 낮은 투자율
- 긴 수명
- 폴리머 구조의 밀도가 증가된 독특한 화학적 성질로 하중이 있을 때 변형 가능성이 상당히 낮으며 투자율이 낮음
- 매우 부드러운 표면
- 장비 수명 연장에 도움
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