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3M™ LIGHT-TO-HEAT CONVERSION (LTHC) COATING, 18 KG, 1/BOTTLE

  • 3M ID 7000008168
  • UPC 04547452942084

레이저 조사로 유리 캐리어 인터페이스에 부착된 접착제를 실온에서 스트레스 없이 디본딩 가능

UV 경화형 액상 접착제로 웨이퍼 표면에 밀착성이 뛰어나며, 박막으로 연마 가능

보이드 없이 TTV 5um 이하의 고정밀 웨이퍼 마운트 가능. 고온 내열성(250도) 및 내화학성이 필요한 공정에 사용 가능.

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상세정보

주요 특징
  • 레이저 조사로 유리 캐리어 인터페이스에 부착된 접착제를 실온에서 스트레스 없이 디본딩 가능
  • UV 경화형 액상 접착제로 웨이퍼 표면에 밀착성이 뛰어나며, 박막으로 연마 가능
  • 보이드 없이 TTV 5um 이하의 고정밀 웨이퍼 마운트 가능. 고온 내열성(250도) 및 내화학성이 필요한 공정에 사용 가능
  • 일반적인 반도체 화학 제품 및 프로세스와 호환 가능

3M™ Light-to-Heat Conversion (LTHC) Coating은 스핀 코팅 방법이 적용된 용매 기반의 코팅 제품입니다. 이 코팅은 3M™ 웨이퍼 서포트 시스템의 유리 기판에서 “ Light to Heat” 변환층을 형성하게 됩니다.

제품설명