3M 반도체 솔루션

  • 3M은 3M™ Trizact™ CMP Pad로 CMP 제품을 재정의함으로써 일관된 CMP 공정 성능을 제공하고 있습니다. CMP Pad는 몰딩, 표면 수정 및 미세 복제 분야에서 3M이 보유한 노하우를 집약하여 첨단 노드 반도체 제조를 위한 혁신적인 CMP 공정용 패드를 제공합니다.

  • CMP용으로 고도로 제작된 3M 패드 컨디셔너는 핵심 반도체 CMP 적용 분야에 안정적인 성능을 제공합니다. 유지 보수 (PM) 를 위한 가동 중단 횟수를 줄이고 패드와 디스크 수명을 연장시킬 수 있도록 최적화되어 있습니다.

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