3M은 3M™ Trizact™ CMP Pad로 CMP 제품을 재정의함으로써 일관된 CMP 공정 성능을 제공하고 있습니다. CMP Pad는 몰딩, 표면 수정 및 미세 복제 분야에서 3M이 보유한 노하우를 집약하여 첨단 노드 반도체 제조를 위한 혁신적인 CMP 공정용 패드를 제공합니다.
CMP용으로 고도로 제작된 3M 패드 컨디셔너는 핵심 반도체 CMP 적용 분야에 안정적인 성능을 제공합니다. 유지 보수 (PM) 를 위한 가동 중단 횟수를 줄이고 패드와 디스크 수명을 연장시킬 수 있도록 최적화되어 있습니다.